ICS 77. 150. 99 YS H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1358—2020 磁记录用铁钴钼合金溅射靶材 FeCoTa alloy sputtering target used in magnetic recording 2020-12-09发布 2021-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1358—2020 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波科铂新材料有限 公司。 本标准主要起草人：赵泽良、马国成、袁海军、吴东青、姚力军、王学泽、曹欢欢、廖培君、高岩、丁照崇、 李利利。 YS/T1358—2020 磁记录用铁钻钼合金溅射靶材 1范围 本标准规定了磁记录用铁钻钼合金溅射靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包 装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同)内容。 本标准适用于6英寸～8英寸垂直磁记录硬盘、磁盘用铁钻钼合金靶材。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廊法 表面粗糙度参数及其数值 GB/T3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T 6569 精细陶瓷弯曲强度试验方法 GB/T8651 金属板材超声板波探伤方法 GB/T13298 金属显微组织检验方法 GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T 899 高纯钼化学分析方法痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 YS/T1124 磁性溅射靶材透磁率测试方法 3产品分类 铁钻钼合金溅射靶材根据主成分含量的不同分为3个牌号：FeCoTa-1、FeCoTa-2、FeCoTa-3。 4技术要求 4.1产品形状 产品形状通常为圆形，或由需方提供图纸。 4.2化学成分 4.2.1 产品的主成分含量应不小于99.95%。 4.2.2产品的化学成分应符合表1的规定。 表1化学成分 牌号 FeCoTa-1 FeCoTa-2 FeCoTa-3 Fe含量(质量分数)/% 37.35±1.01 38.66±1.02 35.53±0.95 Co含量（质量分数)/% 21.56±0.53 21.91±0.55 20.19±0.51 1