ICS.31. 200 99 T 中华人民共和国国家标准 GB/T17864—1999 idt SEMI P24:1994 关键尺寸(CD)计量方法 CD Metrology procedures 1999-09-13发布 2000-06-01实施国家质量技术监督局发布 GB/T17864-1999 目次前言 1 范围引用标准 3 定义 4 精确度附录A（标准的附录）应用提示附录B（标准的附录）关于置信度和置信区间的说明

GB-T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法

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