说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS 29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 GB/T6616—-2009 代替GB/T6616--1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测试方法 非接触涡流法 Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge 2009-10-30发布 2010-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 6616-—2009 前 言 本标准修改采用了SEMIMF673-1105《用非接触涡流法测定半导体硅片电阻率和薄膜薄层电阻的 方法》。 本标准与SEMIMF673-1105相比主要变化如下: 本标准范围中只包括硅半导体材料,去掉了范围中对于其他半导体晶片的适用对象; 一本标准未采用SEMIMF673-1105中局部范围测量的方法Ⅱ; 未采用SEMI标准中关键词章节以适合GB/T1.1的要求。 本标准代替GB/T6616一1995《半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定非接触涡流法》。 本标准与GB/T6616—1995相比,主要有如下变化: 调整了本标准测量直径或边长范围为大于25mm; 增加了引用标准; 修改了第4章中参考片电阻率的值与表1指定值之偏差为小于土25%; 增加了干扰因素; 修改了第6章中测试环境温度为23℃士1℃; 一规定了测试环境清洁度不低于10000级;仪器预热时间为20min; 第7章中采用了SEMIMF673-1105标准中相关的精度和偏差。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准负责起草单位:万向硅峰电子股份有限公司。 本标准主要起草人:楼春兰、朱兴萍、方强、汪新平、戴文仙。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: GB/T6616—1995。
GB-T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
文档预览
中文文档
8 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2024-06-30 18:39:46
上传分享
举报
下载
原文档
(11.8 MB)
分享
友情链接
SY-T 7617-2021 海相页岩地质力学评价规范.pdf
GB-T 32907-2016 信息安全技术 SM4分组密码算法.pdf
GB-T 24364-2023 信息安全技术 信息安全风险管理实施指南.pdf
DB21-T 3297-2020 安全培训过程管理实施指南 辽宁省.pdf
GB-T 16903.2-2023 标志用图形符号表示规则 第2部分:公共信息图形符号的通用符号要素.pdf
GB-T 42582-2023 信息安全技术 移动互联网应用程序(App)个人信息安全测评规范.pdf
网络安全审查办法2021.pdf
GB-T 23176-2008 篮球架.pdf
DB11-T 1210-2015 工业照明设备运行节能监测 北京市.pdf
GB-T 38633-2020 信息技术 大数据 系统运维和管理功能要求.pdf
GB-T 43686-2024 电化学储能电站后评价导则.pdf
GB-T 10067.3-2015 电热装置基本技术条件 第3部分:感应电热装置.pdf
中安网星 智域安全管家-v3.1.pdf
GB-T 34990-2017 信息安全技术 信息系统安全管理平台技术要求和测试评价方法.pdf
T-CTSS 1—2018 白茶仓储规范.pdf
DB42-T 1951-2023 桥梁结构健康信息化监测技术规范 湖北省.pdf
GB-T 23799-2021 车用甲醇汽油 M85.pdf
DB4403-T 51-2020 珠宝行业经营服务规范 深圳市.pdf
2022攻防演练木马专项分析报告-微步在线.pdf
GB-T 18775-2009 电梯、自动扶梯和自动人行道维修规范.pdf
交流群
-->
1
/
3
8
评价文档
赞助2元 点击下载(11.8 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。